一文讀懂吸氣劑復合型離子泵的性能特點

　　吸氣劑復合型離子泵是一種高效的氣體抽取技術，下面就給大家詳細介紹一下它的性能特點，希望能夠幫助到大家！
 

　　吸氣劑復合型離子泵的性能特點如下：
 

　　1、高抽速和低壓力：采用電離泵和吸氣劑共同作用，可實現高抽速和低壓力的抽取。這種離子泵的抽速通常在100~10,000L/s之間，而其抽取壓力通常在10^-9~10^-11Torr之間。
 

　　2、高真空下也能工作：適用于高真空條件下的氣體抽取，可以將真空度提高到非常低的水平。這使得它在許多應用中都是重要的。例如，在半導體制造中，需要高真空環境來避免污染和減少雜質。
 

　　3、可以處理大量氣體種類：可以處理各種類型的氣體，包括惰性氣體、反應性氣體和蒸汽。這種泵具有廣泛的應用領域，例如在化學制造中可用于處理危險氣體。
 

　　4、長壽命：由于其內部沒有運動的機械部件，因此其壽命比其他類型的泵長。它們需要很少的維護和保養，可以在多年甚至幾十年的時間內持續運行。
 

　　5、清潔和安全：它是一種相對干凈、不產生粉塵和污垢的抽取技術。此外，它也是非常安全的，因為電離器內只有低電壓和低電流。
 

　　總之，吸氣劑復合型離子泵是一種高效、低壓力、長壽命、廣泛應用、清潔和安全的氣體抽取技術。由于其出色的性能，它在許多領域都被廣泛使用，例如在半導體制造、化學制造、材料研究和天文學中等。